国内首个新能源大数据创新平台运营

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除了生长参数，首个数据外界激励，如温度、电场均会影响HfO2多晶薄膜相结构及铁电性。HfO2晶体的热力学稳定相均为中心对称的晶体结构，源大运营目前经实验确定的铁电相均是亚稳相，包括非中心对称的正交相Pca21以及菱形相。

氧化物钙钛矿（perovskite）是最常见的铁电材料，创新但是，创新这类材料很难实现与互补金属氧化物半导体（CMOS）电路的高度融合，是传统铁电材料用于存储器件的工业瓶颈之一。当超过某个浓度，平台P42/nmc相（反铁电相）占主导，见图2（b）。由于HfO2的Pca21相与其他正交相结构十分接近，国内见表1及图1（a-c），国内不同相之间仅O原子占位有差异，这使得Pca21相的实验确认需要直接观察到O原子的位置，给实验带来极大困难。

铁电存储器件使用期间，首个数据需要在循环电场下保持稳定。但是，源大运营现有的综述大多是关于HfO2铁电性能及器件物理的，几乎没有综述侧重于HfO2结构演化与性能调控的关系。

示意图1  HfO2薄膜在不同生长参数或外部激励作用下的相结构演化与铁电性能©2022TheAuthors二、创新【成果掠影】近日，创新澳大利亚悉尼大学廖晓舟教授（共同通讯作者）课题组的博士研究生赵豆（第一作者），和香港理工大学陈子斌助理教授（共同通讯作者）在国际期刊Microstructures上发表了题为MicrostructuralevolutionandferroelectricityinHfO2 films的综述。

不同取向的钇（Y）掺杂的HfO2薄膜可以外延在ITO/YSZ衬底上，平台HZO薄膜可以外延在LSMO/STO衬底上。据悉，国内新品将从瑞士和挪威开启，逐步进入其它国家。

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